超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，运用预处理——吸附杂质、氧化物，反渗透——在进水(浓溶液)侧施加操作压力以克服自然渗透压，可清除源水中的细微杂质、胶体、有机物、重金属、可溶性固体热源和其它有害杂质，仅仅保留水分子和溶解氧，有效去除率高达99%。运用紫外氧化杀菌、降解TOC和终端修饰等手段获得更纯净的超纯水。
医疗超纯水系统反渗透(膜分离)法超纯水制造技术：
反渗透是用足够的压力使溶液中的溶剂(一般常指水)通过反渗透膜(一种半透膜)而分离出来，方向与渗透方向相反，可使用大于渗透压的反渗透法进行分离、提纯和浓缩溶液。
